0.1微米怎么检测?(微米位移传感器)
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0.1微米怎么检测?
金属应变计可以实现对微小(应变)位移的测量。
也可以采用编码器式位移传感器,可以测量轴的旋转角度位置变化,旋转速度变化或直线位置变化等信息的测量,精度较高。
霍尔式位移传感器分辨率可以达到1um。
在实验室用激光干涉仪来测量。
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在实验室用激光干涉仪来测量。
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